集成电路的芯片测压是集成电路品质检测的重要一环,而测压装置性能好坏直接决定了集成电路测压的效率和稳定性。传统的芯片检测设备具有单个或多个独立设置的测压压头,存在测压稳定性较差,测压效率较低或成本较高的不足;因此,设计一种测压稳定性较好,测压效率较高且成本较低的芯片测压装置,成为亟待解决的问题。
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